回龍華科大 | 回工程學院 |
微波電漿
廠牌及型號 PC-540 (微波電漿製成控制系統)
GC-10028 (電源供應器)
ML12500-115TC (微波電漿反應器)
功能說明 應用於表面改質及類鑽碳膜成長,表面改質可增加其硬度性、親/疏水性..等性質,類鑽碳膜成長可增加其硬度性、抗刮等,可應用於刀具、鑽頭及微機電領域。
詳細功能規格
  1. 微波電漿製成控制系統
    1. 4-channel 控制器、廠牌:PROTEC
    2. 可控channel數:4 ea
    3. 輸入電壓:90~260 V AC
    4. 單相、輸出電壓:±15V, 250mA(each channel)
    5. 以上、輸出入信號電壓:0~5 V DC
    6. 信號接線頭:Dsub 15
  2. 電源供應器:Output 150V/50mA
  3. 微波電漿反應器:
    1. U: 220V
    2. I: 13.0A
    3. f: 60Hz
    4. Uam: 4500V
    5. 1 out
    6. 400mA
工程學院地址:桃園縣龜山鄉萬壽路一段300號  (300 Wan-shou Rd.,Sec.1,Kueishan Taoyuan,Taiwan)
Tel:(02)82093211-5000、5001  Fax:(02)82096865 E-Mail:eng@mail.lhu.edu.tw
網頁維護:工程學院  Design by 陳怡帆