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穿透式電子顯微鏡
廠牌及型號 JEM-2100
功能說明 JEM-2100為日本電子公司(JEOL Co. Ltd)所開發之穿透式電子顯微鏡,配備高性能LaB6電子源,提供高亮度高空間解析度的電子束,適合多樣化的試片分析。JEM-2100的標準功能包括穿透影像觀察、電子繞射做晶體結構分析。
詳細功能規格
  1. (1) 電子源:LaB6
    (2)操作電壓:80、100、120、160、200KV
    (3)解像力:Point:0.19nm
    (4)解像力:Lattice:0.14nm
    (5)放大倍率2000倍~150萬倍
    (6)雙傾斜基座:X軸±25°;Y軸±25°
    (7)配件: Energy Dispersive X-ray Analyzer
    (8)3D影像系統 ( TOMOGRAPHY Function )
  2. TEM mode:影像觀察,解析度可達0.19nm(UHR),倍率可達百萬倍以上,並可利用OBJ aperture
  3. 觀察明場像(Bright field image, 一般觀察)或暗場像(dark fieldmage, 某特定繞射晶面或缺陷觀察)。
  4. SAD mode:選區繞射利用選區 aperture 做 um 級的繞射,鑑定晶體結構。
  5. NBD mode:微區繞射 (nano beam diffraction) 利用微細電子束作 nm 級的繞射, 鑑定微區晶體結構。
  6. EDS mode:將Electron beam 縮成點狀作微區成分分析。
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