回龍華科大 | 回工程學院 |
場發射掃描式電子顯微鏡
廠牌及型號 JEOL,JSM
功能說明 機台為熱場發射掃描式電子顯微鏡。 並裝設有能量散佈光譜儀(EDS)、波長散佈光譜儀(WDS)及電子背向散射繞射儀(EBSP),提供學術界與產業界進行完整之材料表面形態分析、材料定性及材料定量檢測。
詳細功能規格
  1. 加速電壓:0.5kv ~ 30kv
  2. 電子光源:陰極場發射電子槍
  3. 放大倍率:X 10 ~ X 500k
  4. SEI 解析度:1.5 nm(at 15kv)、 5.0 nm(at 1kv)
  5. 自動功能:對焦、像差修正、明亮、對比
  6. 樣品台: X:50mm;Y:70mm
    Z:4、8、15、25、39mm
    Z(Fine):–2mm to 2mm
  7. Tilt angle: -50 to +600 Rotation angle:3600 endless(motor driven)
    Specimen holders:12.5(dia.) x 10(H) mm 32.0(dia.) x 20(H) mm
工程學院地址:桃園縣龜山鄉萬壽路一段300號  (300 Wan-shou Rd.,Sec.1,Kueishan Taoyuan,Taiwan)
Tel:(02)82093211-5000、5001  Fax:(02)82096865 E-Mail:eng@mail.lhu.edu.tw
網頁維護:工程學院  Design by 陳怡帆